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A seeding technique for synthesizing ultra thin films on silicon wafer has been developed.
晶种法在硅晶片表面生成超薄膜的的一项新兴技术.
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提出了一种简化的区熔再结晶方法,利用这种方法在非硅衬底获得了晶粒尺寸达到毫米级、致密的籽晶层。
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研究了有晶种层的PLZT薄膜的结晶温度及介电性能。
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采用sol-gel工艺,以钛酸铅镧(PLT)作为晶种层,在Pt/TiO2/Si基板上,制备了锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜。
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- full seeding满膘;满播
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